Испытания на герметичность изделий с замкнутой оболочкой ГОСТ РВ 20.57.416-98, метод 401 – 2.1
Стенд контроля герметичности ВАКТРОН РМКГ-ГИРО предназначен для проверки малогабаритных микроэлектронных изделий. Метод работает следующим образом: изделие укладывается в опрессовочную камеру. Камера закрывается, и в неё с помощью системы и клапанов подается определённое тестовое давление гелия, например 3 атм.
Изделие выдерживается в атмосфере гелия определенное время, например в течение 10 минут. Затем изделие извлекается и выдерживается на воздухе несколько минут, для того чтобы гелий с поверхности улетучился.
Объект помещают в вакуумную камеру, которая соединяется с входом течеискателя. Гелий начнёт выходить из изделия под действием вакуумных насосов, в случае наличия течи, и индицироваться течеискателем. В данном случае изделие признается негодным. С помощью щупа течеискателя можно просканировать поверхность изделия и выделить точки нарушения герметичности для последующего устранения и ремонта.
Описание стенда контроля герметичности ВАКТРОН РМКГ-ГИРО
Установка РМКГ-ГИРО предназначена для контроля герметичности изделия (объект контроля – ОК), которое представляет собой металлический корпус из ковара с герметично приваренной крышкой. В корпусе имеется 3 металлостеклянных электрических вывода и 2 вывода оптического волокна.
Изделие имеет медный штенгель – трубка диаметром 3 мм с толщиной стенки 0,5 мм.
Объём внутрикорпусного пространства 4650 мм. куб. Срок эксплуатации изделия 20 лет.
Перед окончательной герметизацией устройства из него необходимо удалить остатки влаги. Делается это путем выдерживания корпуса под вакуумом при температуре 80-100 градусов Цельсия. Вакуумная печь, в которой осуществляется нагрев, одновременно является шлюзом атмосферной камеры, заполненной сухим азотом. После окончания сушки печь заполняется азотом, и корпус с крышкой переносится в атмосферную камеру. В камере осуществляется приварка крышки, создавая внутри изделия азотную среду.
Затем штенгель ОК обжимается, и проводится контроль герметичности.