Высоковакуумные откачные посты
Для автоматической безмасляной откачки вакуумных объектов применяются высоковакуумные откачные системы. Они построены на базе форвакуумного спирального насоса и высоковакуумного турбомолекулярного насоса.
Безмасляный откачной пост ULVAC YPT-030 для высоковакуумной откачки с интегрированным датчиком вакуума в форвакуумной линии и клапаном между насосами обеспечивает пределельное отстаточное давление 10-7 Па и быстроту откачки 50 л/с.
ООО Вактрон также предлагает откачные посты собственной сборки для безмасляной высоковакуумной откачки (пределельное отстаточное давление 10-7 Па и быстроту откачки 50 - 500 л/с).