Винтовые вакуумные насосы SVC

Особенности и принцип действия

Винтовой вакуумный насос серии ScrewStar от фирмы SVC (Южная Корея) является безмасляным откачным средством и представляет собой комбинацию из двух винтообразных роторов с различным направлением резьбы. Корпус компрессора и винты специальной формы образуют камеры сжатия для транспортировки газа.

Вакуумные бустерные насосы Рутса Pedro Gil

Двухроторные насосы Pedro Gil имеют следующие отличительные особенности:

• Форвакуумные
• Безмасляные
• Работают при давлении на входе от атмосферного до 10^-2 Па
• Поддерживают давление 10²–10^-1 Па
• Имеют наиболее высокую быстроту откачки для форвакуумных насосов
• Требуют использования вспомогательного насоса для предварительного разряжения

Механические бустерные насосы ULVAC серия PMB-D

Механические бустерные насосы(насосы Рутса)используются в качестве усилителей быстротыоткачки и величины предельного давления на входе форвакуумных насосов, таких как пластинчато-роторные, золотниковые, сухие механические насосы или жидкостно-кольцевые вакуумные насосы. Диапазон давлений эффективной работы насосов Рутса составляет 0,75 – 0,75 х 10^-3 мм рт.ст.

Принцип работы насосов Рутса заключается в сжатии порций откачиваемого газа при встречном вращении роторов с леминискатным профилем в корпусе насоса. На выхлопе насоса Рутса сжимаемый газ поступает в форвакуумный насос и выводится в атмосферу. Насосы Рутса не предназначены для работы без форвакуумного насоса. Низкое предельное давление обеспечивается за счет сверхмалых зазоров между статором и роторами, а производительность насоса определяется количеством оборотов роторов в единицу времени.

Компания ООО «Вактрон» представляет в России откачное оборудование японской фирмы ULVAC.

Гибридные насосы Рутса Ulvac CR

Насосы серии СR представляют собой производительные агрегаты форвакуумной откачки на базе гибридных насосов Рутса.

Производительность насосов серии CR от 16 до 300 м³/час, предельное достигаемое давление – 0,5 Па.

Производительность моделей – 16, 30, 55, 300 м³/час. Номер в названии модели после символов CR обозначает производительность модели в м³/час.

Агрегат откачной на базе насоса Руста и двухступенчатого пластинчато-роторного насоса Ulvac VMR-050

Быстрота откачки
50 м³/час
833 л/мин
13,9 л/сек

Предельное остаточное давление, мм рт. ст. (Па)*3
3x10^-4 (4x10^-2)

Присоединительные фланцы вход/выход
VG40

Параметры эл.сети и двигателя*1
200+550 Вт 
~220 В АС 50 Гц

Подробнее...

Механический бустерный насос Рутса Ulvac MBS-052

Быстрота откачки
50 м³/час
833 л/мин
13,9 л/сек

Предельное остаточное давление, мм рт. ст. (Па)*3
3x10^-4 (4x10^-2)

Присоединительные фланцы вход/выход
JIS VG-40 / JIS VF-40

Подробнее...

Безмасляные вакуумные насосы ULVAC LR HR UR

Серия LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.

Спиральные вакуумные насосы Ulvac DIS и DISL

Спиральные вакуумные насосы – идеальное решение для создания безмасляной откачки в составе лабораторного и научно-исследовательского оборудования.

Области применения спиральных вакуумных насосов:

• Безмасляная система откачки оборудования для спектрального анализа
• Системы рекуперации чистых газов
• Форвакуумная безмасляная откачка установок для нанесения покрытий, гелиевых течеискателей и высоковакуумных постов
• Для заказа доступны спиральные насосы серии DIS и сери DISL.

Благодаря двусторонней камере сжатия насосы серии DIS обеспечивают низкие предельные давления откачки до 1 Па. В линейке насосов серии DIS три модели производительностью 90, 250 и 500 л/мин

Модели насосов DISL-101 и DISL-502 имеют одну камеру сжатия и предназначены для применения на технологических процессах с невысокими требованиями по вакууму, а также обладают заметно большей способностью к откачке паров воды.

Вакуумные диафрагменные насосы ULVAC

Мембранные насосы ULVAC DAP, DA, DAT, DAU, DTU, DTC представляют собой насосы объемного действия, обеспечивают чистую безмасляную откачку, не загрязняют окружающую среду, просты в эксплуатации, практически не нуждаются в техническом обслуживании. Изменение объема рабочей камеры осуществляется за счет колебательных движений мембраны. Насос состоит из двух независимых друг от друга ступеней, приводимых в действие от одного электродвигателя и размещенных в одном корпусе.

В мембранных вакуумных насосах ULVAC перемещение газа происходит за счет изменения объема рабочей камеры в результате деформации упругой мембраны. Вследствие конструктивных особенностей этого вида насосов (мембраны больших размеров трудны в изготовлении и неизбежно ведут к неоправданному увеличению габаритных размеров машины), широкое применение имеют насосы малой производительности, очень малошумные и, как правило, обладающие высокой коррозионной стойкостью. Мембрана легко заменяется в процессе эксплуатации. Мембранные «сухие» насосы ULVAC предназначены для «чистых» и технологических лабораторных применений, где необходимо достигать вакуум уровня не лучше 100 Па при невысокой производительности.

Подробнее...